DYJ12晶元檢測金相顯微鏡
DYJ-12半導(dǎo)體檢測顯微鏡采用無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng),具有大視野、成像質(zhì)量高、功能擴展性強、最大支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查,含4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤,可
適用不同尺寸的晶圓檢查、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗。
適用不同尺寸的晶圓檢查、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗。
產(chǎn)品詳情
DYJ-12半導(dǎo)體檢測顯微鏡采用無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng),具有大視野、成像質(zhì)量高、功能擴展性強
(明場/斜照明/偏振光/DIC觀察)、大平臺等特點;同時配有長工作距半復(fù)消色差物鏡和可快速和慢速移動
的大行程載物臺,最大支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查,含4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤,可
適用不同尺寸的晶圓檢查、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗。
產(chǎn)品特點
?
仰角可調(diào)觀察筒:0-35°觀察角度可調(diào),適合不同身高的用戶,降低了對工作環(huán)境的要求,讓不同的
使用者都能找到最佳的觀察角度,減輕了長時間工作帶來的不適于疲勞,大幅度提高工作效率。
?
全新離合驅(qū)動式載物臺:DYJ-12 采用離合式手柄,用戶按下離合扳手就可靈活移動平臺,無需長時間
捏緊手柄;按下離合按鈕,取消快速移動,避免長時間操作出現(xiàn)手麻現(xiàn)象,并加快觀察速度。DYJ12 引
入精密導(dǎo)軌傳動機構(gòu),移動更輕更順暢,產(chǎn)品更加穩(wěn)定可靠。
?
防震支架結(jié)構(gòu)設(shè)計: 工業(yè)檢測級顯微鏡機身由六端支架支撐,低重心、高穩(wěn)定性全金屬機架,保證了
系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機構(gòu),內(nèi)置 100-240V 寬電壓變壓器,
可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng),長時間使用也不會使機架過熱
?
安全高速電動物鏡轉(zhuǎn)換器: 設(shè)有前進(jìn)、后退兩檔切換模式,可快速、精確定位到所需要的觀察倍率,
重復(fù)定位精度高,有效提升了轉(zhuǎn)換器的使用壽命。
規(guī)格參數(shù) | DYJ-12 | |||
光路系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) | ● | ||
觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC觀察模式(選配) | O | ||
觀察頭 | 鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾斜可調(diào),瞳距范圍:50mm~76mm | ● | ||
正像,視度調(diào)節(jié)±5°;兩檔分光比R:T=100:0或0:100 | ● | |||
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡WF10X(Φ25mm),視度可調(diào),可帶十字分劃板 | ● | ||
無限遠(yuǎn)長距離明 暗場半復(fù)消 金相物鏡 |
倍率 | 數(shù)值孔徑(N.A.) | 工作距離(W.D.) | |
5×DIC | 0.15 | 13.50mm | ● | |
10×DIC | 0.3 | 9.00mm | ● | |
20×DIC | 0.4 | 8.50mm | ● | |
50× | 0.55 | 8.00mm | ● | |
100×(選配) | 0.8 | 2.80mm | O | |
放大倍數(shù) | 50×-500× | ● | ||
物鏡轉(zhuǎn)輪 (DIC) |
手動物鏡轉(zhuǎn)盤//電動明暗場5孔轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽),物理 按鈕和軟件雙控. |
● | ||
機架 | 反射式機架:前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精 度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置 100-240V寬電壓系統(tǒng)。物鏡和孔徑光闌采用全新的電動控制系統(tǒng),其 操作按鍵位于儀器正前方 |
● | ||
載物臺 | 右手位14*12英寸三層機械移動平臺,低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié) | ● | ||
平臺面積710mmX420mm,移動范圍:356mmX305mm,帶離合器手柄,可 用于全行程范圍內(nèi)的快速移動;反射配金屬平臺 |
||||
玻璃載物臺板。(透/反射用) | ||||
明暗場裝置 | 帶明暗場觀察切換裝置與明暗場照明切換裝置 | ● | ||
DIC微分干涉 | DIC微分干涉觀察組件(選配) | O | ||
簡易偏光裝置 | φ30起偏鏡插板(反射用)、360度旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板(反射用) | ● | ||
照明系統(tǒng) | 柯拉照明系統(tǒng),帶視場光闌與孔徑光闌,中心可調(diào) | ● | ||
100-240V寬電壓,12V/100W鹵素?zé)?,明暗場反射照明?/td> | ● | |||
12V/100W鹵素?zé)?PHILIPS 7724) | ● | |||
數(shù)碼成像系統(tǒng) 注解: ●為標(biāo) |
高質(zhì)量0.5X CCD可調(diào)焦適配鏡 | ● | ||
點應(yīng)2000萬制冷型進(jìn)口芯片數(shù)字顯微鏡攝像機(芯片型號:Sony IMX183芯片大?。?”(13.056*8.755mm)像素大小:2.4*2.4 μm最大分 辨率:2000萬像素幀速:5fps@5440*3648 10fps@4096*2160 15 fps@2736*1824 曝光時間:0.06ms-1hG光靈敏度:462mv with 1/30s/USB 3.0高速通訊,高分辨率、精準(zhǔn)的色彩還原處理/Ultra-Fine顏色引擎,確保 顏色精準(zhǔn)再現(xiàn)/雙級半導(dǎo)體深度制冷 系統(tǒng),低于環(huán)境溫度50度以下,精準(zhǔn)可控)) |
● | |||
專業(yè)的圖像分析軟件(專業(yè)的圖像軟件(圖像采集/影像輸入/相機控制/視頻操 作/圖像處理/圖像測量/圖像融合(景深擴展)/圖像拼接/清晰度對焦因子/動態(tài) 圖像灰度值定標(biāo)(可保證拍攝圖像明暗程度的一致性 配、○為可升級配件 和連貫性)/插件功能)) |
O | |||
可升級配件 | 目鏡:10×(分劃) | O |